產(chǎn)品中心


光學膜厚量測系列
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3D光學缺陷檢測系列
3D光學缺陷檢測系列
集成式膜厚及關鍵尺寸量測系列
集成式膜厚及關鍵尺寸量測系列
明場光學缺陷檢測系列
明場光學缺陷檢測系列
光學缺陷檢測系列
光學缺陷檢測系列
光學關鍵尺寸量測系列
光學關鍵尺寸量測系列

關于我們

睿勵科學儀器（上海）有限公司是于2005年創(chuàng)建的合資公司，致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測設備。

公司的產(chǎn)品填補國家重大產(chǎn)業(yè)鏈中的重要空白，自列入了2005年上海市科教興市重大產(chǎn)業(yè)科技攻關項目起,，得到了政府和業(yè)界的大力支持和高度關注。

公司將通過不斷吸收和培養(yǎng)人才，建立和發(fā)展業(yè)界一流的具有自主創(chuàng)新能力的企業(yè)和團隊，達到并持續(xù)保持在國際及國內相應產(chǎn)業(yè)和市場的領先地位。

新聞資訊


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2026-03-30
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近日，7臺高精度光學檢測設備（WSD系列）完成調試與檢驗，正式裝車發(fā)往客戶現(xiàn)場。此次集中批量發(fā)貨，即是市場對公司產(chǎn)品品質…
睿勵科學儀器新生產(chǎn)中心正式啟用，開啟量檢測新篇章
2024-11-13
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睿勵入圍第五批國家級專精特新“小巨人”企業(yè)名單
2023-08-28
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